該滑道爐由爐體和軌道支架部分組成，同時(shí)可搭配進(jìn)氣系統(tǒng)和真空裝置組成CVD系統(tǒng)。管式爐默認(rèn)為600mm長(zhǎng)的單溫區(qū)設(shè)計(jì)，可以形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域，也可定制為雙溫區(qū)或者三溫區(qū)爐膛，以適應(yīng)不同的試驗(yàn)需求。電爐安裝在滑軌支架上，可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫，提升實(shí)驗(yàn)效率。爐管可配熱電偶測(cè)溫，可以準(zhǔn)確控制反應(yīng)條件。電爐采用智能溫控表控溫，操作簡(jiǎn)便直觀。

滑道管式爐應(yīng)用領(lǐng)域：

       本產(chǎn)品主要應(yīng)用于需要快速升降溫的實(shí)驗(yàn)，尤其適合快速熱處理，也可以與其他設(shè)備共同組成CVD系統(tǒng)。

滑道管式爐技術(shù)參數(shù)：

單溫區(qū)管式爐	產(chǎn)品型號(hào)	CY-O1200-50I-T-L600
	爐膛長(zhǎng)度	820mm
	加熱區(qū)長(zhǎng)	600mm
	恒溫區(qū)長(zhǎng)	300mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段程序控溫
	顯示模式	LED高亮數(shù)碼管
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
爐管	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管長(zhǎng)度	φ50mm x 2000mm
	密封方式	304不銹鋼真空水冷法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭
抽氣系統(tǒng)	機(jī)械泵	VRD-4
	抽氣速率	4L/S
	排氣接口	KF16
	真空測(cè)量	電阻規(guī)
	極限真空	1×10E-1Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	抽氣接口	KF16
軌道	軌道長(zhǎng)度	2m 能實(shí)現(xiàn)爐子至少一個(gè)爐位長(zhǎng)度的滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)快速升降溫

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